非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。。

　　该泵的z*大特点是可获得清洁的粗真空，适用于真空吸附、真空包装、食品加工、卷烟生产等行业　　XG-6型干式旋片真空泵技术性能见表3-115。　　XG-6型干式旋片真空泵外形及安装尺寸见表3-116。。

干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙因此，泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。而日前，一种全新型干式螺杆真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功，用国产车床替代价格昂贵的国外设备生产出螺杆转子，不仅节能30%，还具有设备易损件少、真空度高、抽速大、使用寿命长等特点，可在冶金、电子、石油化工、航空航天等100多个领域替代进口产品。　　。

干式旋片真空泵属于变容式真空泵，其工作原理与有油的旋片真空泵基本一致图3-81为干式旋片真空泵的工作原理图。　　干式旋片泵的转子偏心地置于泵壳内，上端靠近泵壳内，形成进排气口间的密封。当电机带动转子转动时，旋片在离心力的作用下贴紧泵腔的内壁。在泵体内形成多个空腔，进气口侧的空腔容积，随转子的转动而增加产生真空而吸气；排气口侧的空腔容积随转子的转动而缩小，产生压力而排气。　　由于干式旋片泵在无油状态下工作，所以旋片材料需具备自润滑功能。目前，国内外一般采用碳素材料；同时也因其无油，为减少气体的泄漏，该泵采用多个旋片结构。。

另外，干式真空泵的转速越高，其压缩比越大，因此非接触型干式真空泵的转速多为3000r/min　　各种干式真空泵的极限压力、特点见表3-114。　　一般对干式真空泵的要求为：①清洁；②安全；③耐磨；④造价低；⑤维修方便；⑥性能稳定；⑦振动小，噪声低。只有这样，干式真空泵才有使用和推广的价值。在清洁的要求方面，对于那些用油润滑的干式真空泵都有一个潜在的油蒸气的污染源存在，要采取一定措施加以解决。。

在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求，4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵，5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。。